中微半导体针对Veeco上海的专利禁令申请生效

从中微半导体处获悉，中微半导体今天宣布，福建省高级人民法院同意了其针对维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（简称Veeco上海）的禁令申请，禁令立即生效执行，不可上诉。该禁令禁止Veeco上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵犯中微半导体第CN202492576号专利的任何化学气相沉淀装置和用于该等装置的基片托盘。

中微半导体于7月13日向福建省高级人民法院正式起诉Veeco上海专利侵权，申请对Veeco上海发布永久禁令，并赔偿中微半导体经济损失1亿元以上。此前，Veeco上海向国家知识产权局专利复审委员会（简称专利复审委）提交专利无效宣告请求，主张中微半导体专利无效。对此，专利复审委于11月24日驳回了该无效宣告请求，确认中微半导体专利有效。

中微半导体表示，其将于美国当地时间12月8日向美国专利商标局（USPTO）专利审判和上诉委员会（PTAB）递交无效Veeco美国专利（US6726769）的请求。该项关于可分离基片托盘技术的专利申请于2001年，并被Veeco美国公司用于在美国起诉中微半导体的基片托盘供应商SGL专利侵权。中微半导体认为，Veeco美国的涉案专利的技术早在60年代起就被大量前置专利明确地公开，因此该起诉不符合专利法要求，应属无效。除了在美国对该涉案专利提起专利无效请求，中微半导体还对其中国和韩国的同族专利均提交了专利无效请求。

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